中科院白光干涉仪顺利交付验收
科研院所表面形貌检测平台交付

中科院白光干涉仪顺利交付验收

发布时间:2026年6月26日浏览次数:30,823

项目背景与概述

中国科学院苏州生物医学工程技术研究所(苏州医工所)是我国生物医学工程领域的重要研究力量,承担多项国家级科研项目。在光学测试与表面形貌表征方向,研究所需要一台能够对微纳结构进行高精度三维形貌测量的白光干涉仪,用于支撑其在生物医学光学元件、微流控芯片及功能表面结构等方面的科研验证工作。

项目启动后,我司技术团队深入了解了研究所的测试需求,包括测量精度、重复性、视场范围、样品兼容性等关键指标。为保障科研数据的可对比性和国际认可度,项目专门安排了与 BRUKER、ZYGO 等国际一线品牌白光干涉仪的同一样件对比测试环节。经过多轮数据比对,国产白光干涉仪在台阶高度、表面粗糙度(Sa、Sq)、形貌重复性等核心指标上与国际品牌设备表现基本一致。

在设备交付阶段,我司完成了现场安装调试、操作培训和验收测试,并为研究所制定了 2 年整机质保、终身软件升级和数据后台开放配合的长期服务方案,确保设备在科研周期内持续稳定运行。

中科院白光干涉仪顺利交付验收

改造前工艺痛点

1

科研单位需要稳定、可复现的表面形貌检测能力

2

进口仪器售后受限,项目验证周期存在不确定性

3

测试数据需与国际一流品牌设备进行重复性比对

解决方案与交付流程

1
Phase 1

科研样件与测试指标确认

2
Phase 2

白光干涉仪样件比对测试

3
Phase 3

现场安装调试与验收培训

4
Phase 4

质保、升级和数据接口服务衔接

落地后核心效能收益

收益 1

国产白光产品与进口设备测试结果基本无差异

收益 2

完成设备交付验收并形成后续服务机制

收益 3

支持 2 年质保、终身软件升级和数据后台开放配合

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